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INFICON英福康
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INFICON英??抵械驼婵真嚱z皮拉尼真空規(guī)PSG500、PSG500-S、PSG502-S、PSG510-S和PSG512-S采用市場上先進的數(shù)字皮拉尼技術。測量范圍:5×10-4 … 1000mbar,傳感器燈絲有:鎢絲、鎳絲、陶瓷燈絲,設計緊湊,適用于半導體系統(tǒng)和大多數(shù)真空測量環(huán)境,選擇鎳絲、陶瓷燈絲可適用于腐蝕性環(huán)境。
PSG010, PSG017, PSG018英??担↖NFICON)耐高溫、耐輻射真空計,是一款無源皮拉尼真空計,有著悠久的歷史,與INFICON的VGC094真空規(guī)控制器配套使用。其測量范圍為:8×10-4 … 1000mbar;可實現(xiàn)遠距離(最遠500m)、高溫(最高250℃)、高電離、高輻射等環(huán)境的真空測量,選擇鎢燈絲,可應用于耐腐蝕型環(huán)境。
VGC094 INFICON 耐高溫、耐輻射真空計控制器,可以連接多個型號無緣真空計,測量范圍為:1.0×10-11 … 1000mbar;該控制器可以配置2組真空計控制卡,可接4個真空計(每組控制卡可接2個真空計),控制器提供多種數(shù)字通信接口(USB、RS485、以太網),VGC094 為苛刻的真空測量環(huán)境提供理想,例如遠距離、高溫或高電離輻射等環(huán)境的真空測量。
新型 INFICON Pirani /Piezo 組合真空計 (INFICON英??礟PG550皮拉尼真空計) 基于目前非常先進的 MEMS(微機電系統(tǒng))傳感器技術。
INFICON英福康氦質譜檢漏儀專門為半導體應用中的檢漏需求而設計。它具有靈活性、移動性、快速啟動、高靈敏度、快速和精確的測試結果以及可靠性。
INFICON英??的ず窨刂苾xOLED專用在 INFICON 薄膜沉積控制器可靠成熟的性能基礎上,增添了更多特別的功能,可幫助您實現(xiàn) OLED 過程的最大價值。
INFICON英福康光學等離子體真空計是一款光學等離子體真空計,也可稱為光學氣體分析儀。
皮拉尼與電容薄膜復合真空計INFICON,型號:PCG550、PCG552、PCG554,該真空計將 INFICON 皮拉尼技術與陶瓷電容膜片傳感器的優(yōu)點結合在單一產品中,彌補了皮拉尼真空計再大氣壓附近測量不穩(wěn)定的缺陷,其量程范圍為:5×10-5至500mbar;傳感器可選鎳絲傳感器(PCG552)和陶瓷涂層傳感器(PCG554)。
INFICON(英??担┰鰪娦推だ嵴婵沼嫷男吞枮镻GE300,它采用了市場上最新的數(shù)字對流增強型皮拉尼技術,其測量范圍為:1.3×10-4 … 1333mbar,使用鍍金鎢絲燈絲,相比傳統(tǒng)的皮拉尼真空計,其在大氣壓附件(100 至 1000 mbar) 的測量范圍有很高的精度(2.5%)。