PRECESS普瑞賽思真空傳輸插入閥（V78系列）

SPTVI傳輸閥適用于腐蝕性工藝，如蝕刻或CVD，通過單軸氣動執(zhí)行器對閘門進行I形運動的技術。在I形運動中，閘門垂直移動到關閉位置，在最后的運動中，它被水平推到閘門座上，密封件以與連接的氣壓相關的固定力接觸閘門座。這不僅避免了任何摩擦和潛在的顆粒產(chǎn)生，還最大限度地減少了密封磨損。

為了最大限度地減少顆粒的產(chǎn)生和活化，閘門配備了硫化密封O型圈。這是一種比標準O型圈密封更可靠、更耐用的密封解決方案，盡管標準O型環(huán)密封也是可選的。軸饋通采用高度耐用的金屬焊接波紋管密封。

如果發(fā)生電源故障，SPTVI可以機械鎖定在關閉位置。

SPTVI系列已經(jīng)安裝在各種半導體、太陽能和工業(yè)生產(chǎn)過程中的數(shù)百個要求苛刻的應用中，證明了其出色的可靠性。SPTVI系列設計堅固，維護簡單，在各個方面都令人信服。

SPTVI傳輸閥始終根據(jù)客戶的規(guī)格量身定制。然而，預定義了四種基本設計類型：兩種具有不同后側開口的閥門類型和兩種具有內(nèi)腔或外腔閥座的插入式閥門類型。

閥體材料選項包括鋁、硬質陽極氧化、鍍鎳或不銹鋼。閘門和閥蓋密封采用FKM或FFKM。其他密封材料可應要求提供。

特征：

l半標準應用（半E21-94半E24-92半E21.1-1296）

l低振動。獲得認證的I-motion連桿

l壽命長

優(yōu)點：

l焊接波紋管執(zhí)行器密封

l閥蓋法蘭螺栓設計有固定器，以防止拆卸時螺栓脫落

應用:

l半導體加工

l氣動鎖定（可選）

l等離子體蝕刻、CVD、濺射沉積

l太陽能電池板的制造

lLCD/平板工藝

PRECESS普瑞賽思真空傳輸插入閥（V78系列）

技術參數(shù)