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VAT 65.3控壓真空擺閥設(shè)定了下游壓力控制和隔離的新標準。該系列控壓擺閥專為半導(dǎo)體和顯示器生產(chǎn)系統(tǒng)而設(shè)計，可在較寬的流導(dǎo)范圍內(nèi)提供穩(wěn)定精確的可控性。65.3 控壓擺閥配備帶有集成位置控制的電機，可...

VAT 61.3壓力控制蝶閥在所有條件下均能實現(xiàn)出色的壓力控制；憑借其快速且精準的作用動作控制器（0.1 秒），61.3系列控制閥成為 CVD 和 ALD 工藝中精細控制的理想解決方案。

VAT全系列真空閥門的設(shè)計適用于所有真空度，直至高真空、超高真空和苛刻超高真空條件。VAT真空閥是在潔凈室條件下生產(chǎn)的，并為其各自的應(yīng)用量身定做。除了高純度外，VAT真空閥由于其高度精確的功能和耐用性...

德國科寶（KOBOLD）KPG高精度壓力變送器設(shè)計用于需要重型、高精度壓力傳感器的場合。該壓力變送器使用薄膜或壓阻式壓力傳感技術(shù)，在高達 145,000 PSIG 的壓力下可實現(xiàn) ±0.12...

雙動式帶波紋管ISO法蘭角閥就是角式截止閥，角閥與球形閥類似，其結(jié)構(gòu)和特性是由球型閥修正而來。與球形閥的區(qū)別在于角閥的出口與進口成90度直角。角閥又叫三角閥、角形閥、折角水閥。這是因為管道在角閥處成9...

Alicat艾里卡特BIO系列質(zhì)量流量計用于生物反應(yīng)器和發(fā)酵器中的可伸縮質(zhì)量流量測量，具有可靠性高和通信協(xié)議多的特點，便于集成到您的現(xiàn)有系統(tǒng)中。

手動無波紋管KF法蘭角閥就是角式截止閥，角閥與球形閥類似，其結(jié)構(gòu)和特性是由球型閥修正而來。與球形閥的區(qū)別在于角閥的出口與進口成90度直角。角閥又叫三角閥、角形閥、折角水閥。這是因為管道在角閥處成90度...

手動銅密封帶波紋管KF法蘭角閥就是角式截止閥，角閥與球形閥類似，其結(jié)構(gòu)和特性是由球型閥修正而來。與球形閥的區(qū)別在于角閥的出口與進口成90度直角。角閥又叫三角閥、角形閥、折角水閥。這是因為管道在角閥處成...

PRECESS普瑞賽思遠程等離子控制真空閘閥（V24系列）用于SEMI生產(chǎn)系統(tǒng)中的上游清潔進氣室。適用于蝕刻、CVD工藝。

PRECESS普瑞賽思高真空擺閥（V80系列）是特殊類別的隔離控制閥，其中真空門通過旋轉(zhuǎn)運動移出開口橫截面。通過非常精細的電導(dǎo)控制，為工藝室下游壓力控制提供了標準解決方案。特點：設(shè)計緊湊，振動小，啟閉...

PRECESS普瑞賽思大型傳輸插入閥（V76系列）用于太陽能和FPD生產(chǎn)系統(tǒng)中的在線工藝室隔離。

PRECESS普瑞賽思大型傳輸插入閥（V75系列）用于SEMI生產(chǎn)系統(tǒng)中的負載鎖定和工藝室隔離。適用于腐蝕性工藝，如蝕刻或CVD。

PRECESS普瑞賽思遠程等離子控制閥（V41系列）用于SEMI生產(chǎn)系統(tǒng)中的上游清潔進氣室。適用于蝕刻、CVD工藝。