VAT 65.3控壓真空擺閥設(shè)定了下游壓力控制和隔離的新標(biāo)準(zhǔn)。該系列控壓擺閥專(zhuān)為半導(dǎo)體和顯示器生產(chǎn)系統(tǒng)而設(shè)計(jì)，可在較寬的流導(dǎo)范圍內(nèi)提供穩(wěn)定精確的可控性。65.3 控壓擺閥配備帶有集成位置控制的電機(jī)，可...
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VAT 65.3控壓真空擺閥設(shè)定了下游壓力控制和隔離的新標(biāo)準(zhǔn)。該系列控壓擺閥專(zhuān)為半導(dǎo)體和顯示器生產(chǎn)系統(tǒng)而設(shè)計(jì)，可在較寬的流導(dǎo)范圍內(nèi)提供穩(wěn)定精確的可控性。65.3 控壓擺閥配備帶有集成位置控制的電機(jī)，可...
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VAT 61.3壓力控制蝶閥在所有條件下均能實(shí)現(xiàn)出色的壓力控制；憑借其快速且精準(zhǔn)的作用動(dòng)作控制器（0.1 秒），61.3系列控制閥成為 CVD 和 ALD 工藝中精細(xì)控制的理想解決方案。
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VAT全系列真空閥門(mén)的設(shè)計(jì)適用于所有真空度，直至高真空、超高真空和苛刻超高真空條件。VAT真空閥是在潔凈室條件下生產(chǎn)的，并為其各自的應(yīng)用量身定做。除了高純度外，VAT真空閥由于其高度精確的功能和耐用性...
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德國(guó)科寶（KOBOLD）KPG高精度壓力變送器設(shè)計(jì)用于需要重型、高精度壓力傳感器的場(chǎng)合。該壓力變送器使用薄膜或壓阻式壓力傳感技術(shù)，在高達(dá) 145,000 PSIG 的壓力下可實(shí)現(xiàn) ±0.12...
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雙動(dòng)式帶波紋管ISO法蘭角閥就是角式截止閥，角閥與球形閥類(lèi)似，其結(jié)構(gòu)和特性是由球型閥修正而來(lái)。與球形閥的區(qū)別在于角閥的出口與進(jìn)口成90度直角。角閥又叫三角閥、角形閥、折角水閥。這是因?yàn)楣艿涝诮情y處成9...
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Alicat艾里卡特BIO系列質(zhì)量流量計(jì)用于生物反應(yīng)器和發(fā)酵器中的可伸縮質(zhì)量流量測(cè)量，具有可靠性高和通信協(xié)議多的特點(diǎn)，便于集成到您的現(xiàn)有系統(tǒng)中。
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電容薄膜真空計(jì)INFICON (英福康）
電容薄膜真空計(jì)INFICON (英?？?CDG025D電容薄膜規(guī)，屬于INFICON薄膜規(guī)系列，測(cè)量精度可達(dá)：0.2%（讀數(shù)精度）、自帶溫度補(bǔ)償功能，可以在惡劣的生產(chǎn)加工環(huán)境中提供穩(wěn)定的性能。自帶一鍵...
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手動(dòng)無(wú)波紋管KF法蘭角閥就是角式截止閥，角閥與球形閥類(lèi)似，其結(jié)構(gòu)和特性是由球型閥修正而來(lái)。與球形閥的區(qū)別在于角閥的出口與進(jìn)口成90度直角。角閥又叫三角閥、角形閥、折角水閥。這是因?yàn)楣艿涝诮情y處成90度...
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手動(dòng)銅密封帶波紋管KF法蘭角閥就是角式截止閥，角閥與球形閥類(lèi)似，其結(jié)構(gòu)和特性是由球型閥修正而來(lái)。與球形閥的區(qū)別在于角閥的出口與進(jìn)口成90度直角。角閥又叫三角閥、角形閥、折角水閥。這是因?yàn)楣艿涝诮情y處成...
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INFICON英?？惦娙菽て婵沼?jì)（CDG025D-X3）屬于高精度溫度補(bǔ)償型壓力計(jì)，在苛刻的生產(chǎn)環(huán)境中具有穩(wěn)定的性能。先進(jìn)的數(shù)字電子設(shè)備提高了真空計(jì)的性能并具有易于操作的特點(diǎn)，如一鍵調(diào)零功能和設(shè)定點(diǎn)...
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PRECESS普瑞賽思遠(yuǎn)程等離子控制真空閘閥（V24系列）用于SEMI生產(chǎn)系統(tǒng)中的上游清潔進(jìn)氣室。適用于蝕刻、CVD工藝。
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PRECESS普瑞賽思高真空擺閥（V80系列）是特殊類(lèi)別的隔離控制閥，其中真空門(mén)通過(guò)旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)移出開(kāi)口橫截面。通過(guò)非常精細(xì)的電導(dǎo)控制，為工藝室下游壓力控制提供了標(biāo)準(zhǔn)解決方案。特點(diǎn)：設(shè)計(jì)緊湊，振動(dòng)小，啟閉...
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PRECESS普瑞賽思大型傳輸插入閥（V76系列）用于太陽(yáng)能和FPD生產(chǎn)系統(tǒng)中的在線工藝室隔離。
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PRECESS普瑞賽思大型傳輸插入閥（V75系列）用于SEMI生產(chǎn)系統(tǒng)中的負(fù)載鎖定和工藝室隔離。適用于腐蝕性工藝，如蝕刻或CVD。
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